超臨界洗浄・乾燥装置
LB成膜装置
サンプル調製実験室
反応性イオンエッチング装置
ナノインプリント装置
スパッタリング装置
全自動EB蒸着装置
有機物用蒸着装置
小型エッチング装置
EB描画装置
イオンシャワーエッチング成膜装置
マスクレス露光装置
小型スパッタ装置
フーリエ変換赤外分光光度計および偏光顕微分光システム
顕微ラマン・蛍光分光装置
紫外可視分光光度計
原子間力顕微鏡(AFM)
走査型電子顕微鏡(SEM)
ジョイント型大型空気ばね式防振台
共焦点レーザー顕微鏡
大型空気ばね式防振台
小型走査型電子顕微鏡
波長変換OPOおよびフェムト秒パルス Ti: Sapphireレーザーシステム
高エネルギー再生増幅器およびフェムト秒パルス Ti:Sapphireレーザーシステム
フェムト秒パルス光パラメトリック増幅器
自動波長掃引フェムト秒パルス Ti:Sapphireレーザーシステム
フェムト秒超短パルス Ti: Sappphireレーザーシステム
フェムト秒パルス Ti:Sapphireレーザーシステム
フェムト秒パルスファイバレーザ
高繰り返しフェムト秒パルス Ti: Sapphireレーザシステム
量子カスケードレーザ(QCL)
数値解析用グリッドコンピュータ
数値解析用コンピュータ(7台)
〒351-0198 埼玉県和光市広沢2-1 田中メタマテリアル研究室 Email contact[at]mets.riken.jp