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スパッタリング装置

メーカー：キヤノンアネルバ株式会社
モデル：E-200S

φ2”カソードを3基搭載し、任意の混合材料での薄膜作製が可能なスパッタ装置です。均一な膜厚分布で、静止対向製膜および回転製膜が可能です。

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