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小型エッチング装置

メーカー：サムコ株式会社
モデル：FA-1
反応性イオンエッチング法により、レジストなどの有機被膜のアッシングやSiO2薄膜の平坦化・除去を行う、ドライエッチング装置です。ワンタッチ操作のみで使用できます。

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